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长晶炉

260logo感应加热长晶炉装置主要由感应加热设备,坩埚及保温装置、密封石英管装置、区熔装置、定向凝固装置、真空装置、保护气氛装置、测温装置、支架及操作台装置与可视化控制系统组成。


适应于碳化硅、蓝宝石、激光晶体等各种晶体的长晶工艺。


坩埚类型可适应:石墨坩埚、依金坩埚、钨钼坩埚、铂金坩埚等。

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感应加热长晶炉特点:

1、无易损件,运行成本低。

2、起炉快,热惯性小,系统响应速度高。

3、直接加热坩埚,功率密度大,更易达到高温

4、采用高精度感应加热设备,功率控制精度高,可实现高精度温度控制。

5、感应加热与坩埚之间没有电连接点,保温条件好,温场均匀,使用寿命长。


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